隨著工業(yè)技術(shù)的不斷持續(xù)發(fā)展，大多數(shù)采用密閉和接近密閉型的常壓干燥設(shè)備都被設(shè)計成真空干燥設(shè)備。真空干燥設(shè)備是專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計的，工作時可使工作室內(nèi)保持一定的真空度，并能夠向內(nèi)部充入惰性氣體。
　　真空干燥設(shè)備種類繁多，結(jié)構(gòu)各異。其分類方法也不相同。
　　真空干燥機(jī)就是通過降低干燥室的壓力以降低濕分的沸點，達(dá)到在低溫下干燥的目的。工業(yè)干燥機(jī)按其加熱方式可分為傳導(dǎo)式和對流式兩大類。回顧工業(yè)干燥機(jī)的發(fā)展，又可分為幾個階段，五十年代以前，主要是以傳導(dǎo)式（例如箱式烘箱、真空干燥箱）為主。從手工裝卸料發(fā)展到半機(jī)械化、機(jī)械化和連續(xù)式干燥。五十年代以后，干燥技術(shù)的開發(fā)為滿足工業(yè)干燥的處理量大、高效、連續(xù)化、自動化的要求，重點進(jìn)行了對流式干燥機(jī)的研發(fā)和開發(fā)。到七十年代初，對流式干燥機(jī)已取代傳導(dǎo)式干燥機(jī)的主導(dǎo)地位。但隨著工業(yè)的發(fā)展，在節(jié)能、環(huán)保、潔凈等方面，對干燥機(jī)提出新的要求，而這些又是對流式干燥機(jī)一時難以解決的要求，因而傳導(dǎo)式又得到新的發(fā)展。從七十年代到八十年代初，各種新型的傳導(dǎo)式干燥機(jī)（例如多層帶式真空干燥機(jī)、雙錐回轉(zhuǎn)干燥機(jī)、葉片式、振動式干燥機(jī)等）取代對流式干燥機(jī)逐漸增多。當(dāng)然為了適應(yīng)對節(jié)能、環(huán)保、潔凈的要求，對流式也在設(shè)法加以改進(jìn)，例如將傳導(dǎo)式加熱面與流化干燥機(jī)結(jié)合起來等等。
　　真空干燥機(jī)屬于傳導(dǎo)式干燥，即將冷凝器、真空泵與傳導(dǎo)式干燥機(jī)配套，形成真空干燥裝置。由于真空干燥具有干燥溫度低、干燥速率大、節(jié)能、設(shè)備密閉防污染等優(yōu)點，因而傳導(dǎo)式干燥機(jī)大部分可設(shè)計成真空干燥裝置，真空干燥在生物制品、藥品、飲品以及熱敏性物料、氧敏性物料、溶劑回收等干燥中起到獨特作用。